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多选题 :  在加工芯片的过程中，光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段，将光束透射过画着线路图的()，经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例()后映射到硅片上，然后使用()方法显影，得到刻在硅片上的电路图。

（A）掩模

（B）缩小

（C）化学

（D）物理

（E）扩大