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多选题 :  对于大多数化合物半导体器件而言,其产业链各个环节与硅基半导体器件相似,具体包括()几大部分。

(A)单晶衬底材料制造

(B)外延生长

(C)设计

(D)芯片加工

(E)封装测试

参考答案

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